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蔡司三坐標測量機的測量過(guò)程,是由測頭通過(guò)三個(gè)坐標軸導軌在三個(gè)空間方向自由移動(dòng)實(shí)現的，在測量范圍內可到達任意一個(gè)測點(diǎn)。三個(gè)軸的測量系統可以測出測點(diǎn)在X，Y，Z三個(gè)方向上的精確坐標位置。
根據被測幾何型面上若干個(gè)測點(diǎn)的坐標值即可計算出待測的幾何尺寸和形位誤差。另外，在測量工作臺上，還可以配置繞Z軸旋轉的分度轉臺和繞X軸旋轉的帶頂尖座的分度頭，以方便螺紋、齒輪、凸輪等的測量